Was ist SC-1 (APM)?

Gemisch aus Ammoniak, Wasserstoffperoxid und Wasser, das als Erstes bei der RCA-Reinigung verwendet wird. Es entfernt Partikel und organische Stoffe und ätzt die Oberfläche leicht an.

Japanische Bezeichnung: SC-1(APM)

Fachgebiet: CMP und Reinigung

Verwandte Begriffe

Ceroxid (Ceria) CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Dishing (Muldenbildung) Einzelwaferreinigung Erosion Megasonic-Reinigung Natives Oxid Pad-Konditionierung Prestonsche Gleichung RCA-Reinigung

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