Was ist Dishing (Muldenbildung)?
Ein CMP-Phänomen, bei dem die Mitte einer breiten Metallleitung zu stark poliert wird und eine schüsselartige Vertiefung entsteht.
Japanische Bezeichnung: ディッシング
Fachgebiet: CMP und Reinigung
Verwandte Begriffe
Ceroxid (Ceria) CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Einzelwaferreinigung Erosion Megasonic-Reinigung Natives Oxid Pad-Konditionierung Prestonsche Gleichung RCA-Reinigung SC-1 (APM)