Was ist Ceroxid (Ceria)?
Schleifmittel in CMP-Slurries. Es reagiert chemisch mit Oxid und hat hohe Selektivität zu Nitrid, weshalb es für STI-CMP verwendet wird.
Japanische Bezeichnung: セリア(酸化セリウム)
Fachgebiet: CMP und Reinigung
Verwandte Begriffe
CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Dishing (Muldenbildung) Einzelwaferreinigung Erosion Megasonic-Reinigung Natives Oxid Pad-Konditionierung Prestonsche Gleichung RCA-Reinigung SC-1 (APM)