Was ist RCA-Reinigung?

Ein Reinigungsverfahren, das Partikel und organische Stoffe mit SC-1 (Ammoniak und Wasserstoffperoxid) und Metallverunreinigungen mit SC-2 (Salzsäure und Wasserstoffperoxid) entfernt.

Japanische Bezeichnung: RCA洗浄

Fachgebiet: CMP und Reinigung

Verwandte Begriffe

Ceroxid (Ceria) CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Dishing (Muldenbildung) Einzelwaferreinigung Erosion Megasonic-Reinigung Natives Oxid Pad-Konditionierung Prestonsche Gleichung SC-1 (APM)

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