Was ist Retrograde Wanne (Retrograde Well)?

Wanne, deren Dotierung mit der Tiefe zunimmt, hergestellt durch Hochenergie-Implantation. Sie unterdrückt Punch-through und Latch-up, während die Kanaldotierung an der Oberfläche niedrig bleibt.

Japanische Bezeichnung: レトログレードウェル

Fachgebiet: Ionenimplantation