レトログレードウェル란?

れとろぐれーどうぇる

高エネルギーのイオン注入で、表面より深い位置の不純物濃度を高くしたウェル。表面のチャネルの濃度を低く保ちながら、パンチスルーやラッチアップを抑えられる。

일본어 명칭: レトログレードウェル

분야: 이온 주입