Was ist Radikal?
Neutrales Atom oder Molekül mit ungepaartem Elektron, chemisch sehr reaktiv. Plasmen enthalten weit mehr Radikale als Ionen, und sie treiben chemisches Ätzen und Abscheiden an.
Japanische Bezeichnung: ラジカル
Fachgebiet: Ätzen
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)