Was ist Prozessfenster?

Bereich von Belichtungsdosis und Fokus, in dem die Strukturmaße innerhalb der Toleranz bleiben. Je größer es ist, desto robuster ist die Fertigung gegenüber Schwankungen.

Japanische Bezeichnung: プロセスウィンドウ

Fachgebiet: Lithografie

Verwandte Begriffe

ArF-Excimerlaser Bodenseitige Antireflexschicht (BARC) Chemisch verstärkter Resist EUV-Lithografie Fotolack High-NA-EUV Immersionslithografie Linienkantenrauheit (LER) Mehrfachstrukturierung (Multiple Patterning) Nanoimprint-Lithografie

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