Was ist Bodenseitige Antireflexschicht (BARC)?

Unter dem Resist aufgetragene Schicht, die Stehwellen im Resist und Maßschwankungen über der Topografie unterdrückt, welche durch vom Substrat reflektiertes Licht entstehen.

Japanische Bezeichnung: 反射防止膜(BARC)

Fachgebiet: Lithografie