プロセスウィンドウ란?

ぷろせすうぃんどう

露光量とフォーカスを変えても、パターンの寸法が許容範囲に収まる条件の範囲。広いほど製造のばらつきに強い。

일본어 명칭: プロセスウィンドウ

분야: 포토리소그래피