Was ist Mehrfachstrukturierung (Multiple Patterning)?

Erzeugen von Strukturen mit einem Rastermaß, das für eine einzelne Belichtung zu fein ist, indem sie auf mehrere Belichtungen oder Prozessschritte aufgeteilt werden. Die Aufteilung in zwei ist Double Patterning.

Japanische Bezeichnung: マルチパターニング