Was ist Plasma?

Zustand, in dem ein Gas zu einem Gemisch aus Elektronen, Ionen und Radikalen (reaktiven Neutralteilchen) ionisiert ist. Es wird in vielen Prozessen genutzt, darunter Trockenätzen, Plasma-CVD und Veraschen.

Japanische Bezeichnung: プラズマ

Fachgebiet: Ätzen

Verwandte Begriffe

ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)

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