Was ist Pellikel?

Dünne Membran, die in geringem Abstand über einer Photomaske gespannt ist. Sie hält Partikel von der Maskenoberfläche fern; auf das Pellikel fallende Partikel liegen außerhalb des Fokus und werden nicht abgebildet.

Japanische Bezeichnung: ペリクル

Fachgebiet: Lithografie

Verwandte Begriffe

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