Was ist Numerische Apertur (NA)?
Ein Wert, der den Winkelbereich des Lichts angibt, den eine Linse sammeln kann. Eine größere NA ergibt eine höhere Auflösung.
Japanische Bezeichnung: 開口数(NA)
Fachgebiet: Lithografie
Verwandte Begriffe
ArF-Excimerlaser Bodenseitige Antireflexschicht (BARC) Chemisch verstärkter Resist EUV-Lithografie Fotolack High-NA-EUV Immersionslithografie Linienkantenrauheit (LER) Mehrfachstrukturierung (Multiple Patterning) Nanoimprint-Lithografie