マルチパターニング란?

まるちぱたーにんぐ

1回の露光では解像できない細かいピッチのパターンを、複数回の露光や加工に分けて形成する技術。2回に分けるものをダブルパターニングという。

일본어 명칭: マルチパターニング

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