ハロー注入(ポケット注入)란?

はろーちゅうにゅう

ソース・ドレインの端に、チャネルと同じ導電型の不純物を斜めに注入する方法。ドレインの空乏層の広がりを抑え、短チャネル効果を抑える。

일본어 명칭: ハロー注入(ポケット注入)

분야: 이온 주입