Was ist Trockene Oxidation?

Thermische Oxidation mit trockenem Sauerstoff. Das Wachstum ist langsam, ergibt aber dichtes Oxid hoher Qualität, das unter anderem für Gate-Oxide verwendet wird.

Japanische Bezeichnung: ドライ酸化

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung)

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