Was ist Vogelschnabel (Bird's Beak)?

Bei LOCOS das schnabelförmige Eindringen von Oxid unter den Rand der Nitridmaske. Da es aktive Fläche verschwendet, führte es bei kleineren Strukturen zum Wechsel zu STI.

Japanische Bezeichnung: バーズビーク

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) RTP (schnelle thermische Behandlung)

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