Was ist Veraschen (Ashing)?
Entfernen von Photoresist, der nach dem Ätzen oder der Implantation nicht mehr gebraucht wird, durch Oxidation zu Asche, meist mit Sauerstoffplasma.
Japanische Bezeichnung: アッシング
Fachgebiet: Ätzen
Verwandte Begriffe
ALE (Atomlagenätzen) Anisotropes Ätzen Antenneneffekt ARDE (aspektverhältnisabhängiges Ätzen) Aspektverhältnis Ätzselektivität Endpunkterkennung Gepufferte Flusssäure (BHF) Hartmaske (Hard Mask) ICP (induktiv gekoppeltes Plasma)