あにーる
熱処理のこと。イオン注入後の結晶欠陥の回復や不純物の活性化などに用いる。
일본어 명칭: アニール
분야: 이온 주입
固溶度 過渡増速拡散(TED) 投影飛程 イオン注入 シャドウイング スパイクアニール チャネリング ドーズ量 ハロー注入(ポケット注入) ファラデーカップ
용어집으로 돌아가기