Messtechnik und Analytik

Welches Gerät misst Stufenhöhe und Oberflächenform aus der Auf- und Abbewegung einer feinen Nadel, die über die Probenoberfläche fährt?

  1. AMassenspektrometer
  2. BTastschnittgerät (Profilometer)
  3. CEllipsometer
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Antwort: B. Tastschnittgerät (Profilometer)

Ein Tastschnittgerät fährt die Oberfläche mit einer feinen Nadel bei konstanter schwacher Kraft ab und misst aus der vertikalen Auslenkung der Nadel Stufenhöhen und Welligkeit der Oberfläche. Es dient zur Prüfung von Ätztiefen, Schichtstufen und der Ebenheit über große Bereiche nach CMP. Das Auflösungsvermögen ist gröber als beim AFM, doch lassen sich lange Strecken im Millimeterbereich abtasten. Das Massenspektrometer misst die Zusammensetzung, das Ellipsometer die Schichtdicke.

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