Welches Verfahren untersucht im TEM mit gerastertem, fein gebündeltem Elektronenstrahl die Verteilung von Elementen und chemischen Zuständen über den Energieverlust der transmittierten Elektronen?

Antwort: C. STEM-EELS (Elektronenenergieverlustspektroskopie)

Beim STEM (Raster-Transmissionselektronenmikroskop) wird ein feiner Elektronenstrahl über die Probe gerastert. In Kombination mit EELS, das misst, wie viel Energie die transmittierten Elektronen verloren haben, lässt sich die Verteilung von Elementarten und chemischen Bindungszuständen mit nahezu atomarer räumlicher Auflösung untersuchen. Es ist stark beim Nachweis leichter Elemente und dient der Bewertung extrem dünner Gate-Isolatoren und Grenzflächen. Die Hall-Messung bestimmt Ladungsträgerart und Beweglichkeit.