Messtechnik und Analytik

Welches Analyseverfahren verdampft Atome von der Spitze einer nadelförmig bearbeiteten Probe einzeln durch ein elektrisches Feld und detektiert Position und Art, um die dreidimensionale Atomverteilung von Dotierstoffen u. Ä. zu untersuchen?

  1. AAtomsonden-Tomografie
  2. BOptisches Mikroskop
  3. CAkustisches Mikroskop
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Antwort: A. Atomsonden-Tomografie

Bei der Atomsonde wird an eine mit FIB zu einer Nadel mit etwa 100 nm Spitze bearbeitete Probe eine hohe Spannung mit Pulsen angelegt, und die Atome an der Spitze werden einzeln als Ionen abgelöst. Aus der Auftreffposition auf dem Detektor wird die ursprüngliche Position und aus der Flugzeit die Masse (Elementart) bestimmt und die dreidimensionale Atomverteilung rekonstruiert. Die Dotierstoffverteilung im Transistor lässt sich so auf atomarer Ebene untersuchen, doch beträgt die Nachweiseffizienz nicht 100 %.

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