Was führt beim AFM bei der Messung sehr schmaler Gräben oder steiler Seitenwände leicht zu Messfehlern?

Antwort: B. Da die Spitze endlich dick und geformt ist, überlagert sich ihre Form der gemessenen Form

Das AFM misst die Form durch Abfahren der Oberfläche mit einer Spitze; sie erreicht den Boden von Gräben, die schmaler als die Spitze sind, nicht, und bei steilen Seitenwänden berührt zuerst die Flanke der Spitze. Die gemessene Form ist dadurch eine Faltung der tatsächlichen Form mit der Spitzenform, Gräben erscheinen flacher und schmaler, Linien breiter. Verwendet werden feine Spitzen oder Spitzen für Seitenwandmessungen mit seitlich verbreiterter Spitze, und in der Auswertung wird die Spitzenform abgeschätzt und korrigiert.