Was ist der Hauptzweck von Messungen und Inspektionen mitten im Prozess in der Fertigungslinie?

Antwort: B. Anomalien im Prozess früh zu erkennen und zu stoppen, damit nicht in großen Mengen fehlerhafte Produkte gefertigt werden

Moderne LSIs durchlaufen über 1000 Prozessschritte und benötigen bis zur Fertigstellung mehrere Monate. Wird ein Problem erst nach Fertigstellung bemerkt, sind in der Zwischenzeit große Mengen Wafer zu Ausschuss geworden. Durch Messung und Inspektion mitten im Prozess werden Anomalien früh erkannt, die verursachende Anlage oder der Prozess gestoppt und die Bedingungen korrigiert, sodass der Verlust klein bleibt. Es dient auch einer Regelung, die Messergebnisse zur Korrektur der Bedingungen für die nächsten Wafer nutzt.