Messtechnik und Analytik

Welche Funktion klassifiziert bei der Inspektion gefundene Fehler automatisch anhand von SEM-Aufnahmen nach ihrer Art?

  1. AATPG
  2. BAutomatische Fehlerklassifikation (ADC)
  3. CAPC
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Antwort: B. Automatische Fehlerklassifikation (ADC)

Fehlerinspektionsanlagen können von einem Wafer mehrere tausend Fehler erkennen, und zur Ursachenermittlung ist eine Klassifikation nach Art nötig. Die automatische Fehlerklassifikation (ADC) ordnet anhand der Aufnahmen des Review-SEM Partikel, Strukturfehler, Kratzer usw. automatisch zu und beschleunigt die Ermittlung des verursachenden Prozesses oder der Anlage. In letzter Zeit wird auch maschinelles Lernen genutzt. ATPG ist die Erzeugung von Testmustern, APC die automatische Prozesssteuerung.

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