Messtechnik und Analytik

Was ist der Hauptgrund, warum bei der Messung in der Fertigungslinie häufig nicht alle Wafer oder alle Punkte, sondern eine Auswahl gemessen wird?

  1. AWeil das Produkt bei Messung aller Punkte kaputtgeht
  2. BWeil das Messgerät nur einmal am Tag benutzt werden kann
  3. CWeil auch Messen Zeit und Kosten verursacht und stichprobenartig in einem Umfang gemessen wird, der die Prozessstreuung erfassen lässt
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Antwort: C. Weil auch Messen Zeit und Kosten verursacht und stichprobenartig in einem Umfang gemessen wird, der die Prozessstreuung erfassen lässt

Messen kostet Anlagenzeit und Geld; würden alle Punkte aller Wafer gemessen, verlangsamte sich der Produktionsfluss, und es wären große Mengen Messgeräte nötig. Daher wird nach einem Stichprobenplan gemessen, der je nach Streuverhalten des Prozesses festlegt, wie viele Wafer je Los und wie viele Punkte im Wafer gemessen werden. Bei stabilen Prozessen wird die Messmenge verringert, bei wichtigen Prozessen oder Anzeichen für Anomalien erhöht.

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