Messtechnik und Analytik
Welche Beschreibung der SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) ist richtig?
- AElemente werden anhand der durch Elektronenstrahl erzeugten charakteristischen Röntgenstrahlung untersucht
- BDie Schichtdicke wird aus dem Reflexionsgrad des Lichts gemessen
- CDie Probe wird mit Primärionen abgetragen, die austretenden Sekundärionen werden massenspektrometrisch analysiert und so die Tiefenverteilung von Verunreinigungen untersucht
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Antwort: C. Die Probe wird mit Primärionen abgetragen, die austretenden Sekundärionen werden massenspektrometrisch analysiert und so die Tiefenverteilung von Verunreinigungen untersucht
Bei der SIMS wird die Probenoberfläche mit Primärionen aus Cäsium oder Sauerstoff Stück für Stück gesputtert und die emittierten Sekundärionen massenspektrometrisch analysiert. Durch Messen während des Abtragens lässt sich die Tiefenverteilung der Verunreinigungskonzentration mit je nach Element hoher Empfindlichkeit bis in den ppb-Bereich messen. Sie wird häufig zur Bewertung von Ionenimplantation und Diffusion eingesetzt, ist aber wegen des Abtragens der Probe zerstörend. Elemente über charakteristische Röntgenstrahlung zu untersuchen, ist EDX, die Schichtdicke über den Reflexionsgrad zu messen ein optisches Verfahren.