CMP und Reinigung

Warum wird dem Slurry beim Wolfram-CMP ein Oxidationsmittel wie Wasserstoffperoxid zugesetzt?

  1. AUm die Wolframoberfläche in ein leichter zu polierendes Oxid umzuwandeln
  2. BDamit das Wolfram glänzt
  3. CUm den Slurry zu kühlen
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Antwort: A. Um die Wolframoberfläche in ein leichter zu polierendes Oxid umzuwandeln

Wolfram ist ein hartes Metall und lässt sich mechanisch nur schwer direkt polieren. Mit einem Oxidationsmittel wie Wasserstoffperoxid oder Eisensalzen wird die Oberfläche in weiches Wolframoxid umgewandelt, das von den Schleifpartikeln abgetragen wird; durch Wiederholung dieses Vorgangs schreitet das Polieren voran. Die Abtragsrate hängt stark von der Konzentration des Oxidationsmittels ab, was die Rolle des „chemischen“ Anteils von CMP gut zeigt. Zugleich sind Maßnahmen nötig, um Oxidation und Korrosion in den Vertiefungen zu unterdrücken.

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