CMP und Reinigung
Was ist die Hauptursache dafür, dass Strukturen mit hohem Aspektverhältnis beim Reinigen und Trocknen umfallen?
- ADie auf die Struktur wirkende Schwerkraft
- BDie Oberflächenspannung der zwischen den Strukturen verbliebenen Flüssigkeit beim Trocknen
- CDie Farbe der Reinigungsflüssigkeit
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Antwort: B. Die Oberflächenspannung der zwischen den Strukturen verbliebenen Flüssigkeit beim Trocknen
Trocknet die Flüssigkeit zwischen schmalen, hohen Strukturen ab, zieht der Laplace-Druck der Oberflächenspannung der Flüssigkeitsoberfläche die Strukturen aneinander, sodass sie umfallen oder zusammenkleben. Die Kraft ist umso größer, je enger der Abstand und je höher das Aspektverhältnis ist. Gegenmaßnahmen sind der Austausch gegen IPA mit geringer Oberflächenspannung, hydrophobierende Oberflächenbehandlung (Kontaktwinkel nahe 90°) und Trocknung mit überkritischem CO2, bei der keine Grenzfläche zwischen Flüssigkeit und Gas entsteht.