CMP und Reinigung

Welche Größenordnung haben die Schleifpartikel von CMP-Slurry?

  1. AEinige mm
  2. BEinige cm
  3. CEinige zehn bis über hundert nm
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Antwort: C. Einige zehn bis über hundert nm

Die Schleifpartikel von CMP-Slurry sind sehr feine Partikel von einigen zehn bis über hundert nm. Schon einige wenige grobe Partikel über 1 µm pro mL Flüssigkeit können Scratches verursachen; daher wird nicht nur die Größenverteilung, sondern vor allem die Zahl grober Partikel streng kontrolliert. Auch Form (kugelförmig oder unregelmäßig) und Härte der Partikel beeinflussen Abtragsrate und Kratzeranfälligkeit; in letzter Zeit werden auch weiche organische Partikel u. Ä. entwickelt.

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