静電容量検出란?

せいでんようりょうけんしゅつ

可動電極と固定電極の間の静電容量の変化から、変位や圧力などを検出する方式。MEMSセンサーで広く使われる。

일본어 명칭: 静電容量検出

분야: MEMS와 센서