シリコン単結晶が最も割れやすい(へき開しやすい)結晶面はどれか。

正解：B. {111}面

シリコンは{111}面に沿って最もへき開しやすい性質があります。(100)ウエハでは、表面に対して斜めの{111}面や、表面に垂直な{110}面に沿って割れやすく、割れたときの直線的な割れ目からウエハの結晶方位を推定することもできます。

• A. {100}面は(100)ウエハの表面の面で、最もへき開しやすい面ではありません。
• B. 正しい。{111}面に沿って最もへき開しやすくなります。
• C. {110}面でもへき開しますが、最もへき開しやすいのは{111}面です。