실리콘 웨이퍼

실리콘 단결정이 가장 깨지기 쉬운(벽개하기 쉬운) 결정면은 무엇인가?

  1. A{100}면
  2. B{111}면
  3. C{110}면
정답과 해설 보기

정답: B. {111}면

실리콘은 {111}면의 원자 결합을 끊는 에너지가 가장 작기 때문에 {111}면을 따라 가장 벽개하기 쉬운 성질이 있습니다. (100) 웨이퍼에서는 표면에 수직인 {110}면을 따라 직각으로 교차하는 직선 모양의 균열이 생기기 쉬우며, 균열의 방향으로 웨이퍼의 결정 방위를 추정할 수 있습니다. 이 성질은 칩을 쪼개 단면을 관찰할 때나 웨이퍼를 손으로 쪼개는 스크라이브에도 이용됩니다.

  • A. {100}면은 (100) 웨이퍼의 표면이 되는 면으로, 가장 벽개하기 쉬운 면이 아닙니다.
  • B. 옳습니다. {111}면을 따라 가장 벽개하기 쉽습니다.
  • C. {110}면에서도 벽개하지만 가장 벽개하기 쉬운 것은 {111}면입니다.
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