실리콘 웨이퍼
CZ 결정에서 결정 성장 계면의 온도 변동 등으로 생기는 도펀트나 산소 농도의 주기적인 줄무늬 모양 변화를 무엇이라 부르는가?
- A스트리에이션(성장 줄무늬)
- B노치
- C패싯
정답과 해설 보기
정답: A. 스트리에이션(성장 줄무늬)
결정을 회전시키면서 끌어올리면 융액의 대류와 온도 변동으로 인해 성장 계면에서의 성장 속도와 불순물 유입량이 주기적으로 달라집니다. 그 결과 도펀트나 산소 농도가 줄무늬 모양으로 변화하는 스트리에이션이 생기며, 저항률의 미세한 편차의 원인이 됩니다. 웨이퍼 면내에서는 나이테 같은 동심원 모양으로 나타나며, MCZ법으로 대류를 억제하면 줄일 수 있습니다.
- A. 옳습니다. 주기적인 농도의 줄무늬 모양 변화입니다.
- B. 노치는 웨이퍼 외주의 홈입니다.
- C. 패싯은 결정의 평평한 면을 말합니다.