矽晶圓

矽晶圓之所以是圓形,其主要原因下列哪一項是正確的?

  1. A因為容易排列方形的晶片
  2. B因為不是圓形就無法曝光
  3. C因為單晶是邊旋轉邊拉出的,所以晶錠呈圓柱狀
查看答案與解析

正確答案:C. 因為單晶是邊旋轉邊拉出的,所以晶錠呈圓柱狀

在CZ法中,晶種與坩堝以相反方向旋轉,同時從熔液中向上拉晶,使溫度分布在旋轉方向上均勻,所以晶錠呈圓柱狀。將它切成薄片,晶圓就是圓形。排列方形晶片時外周會有數%的浪費,但由於晶體的製造方式,以及旋轉塗佈與CMP等適合圓形的製程,因此採用這種形狀。

  • A. 若要排列方形晶片,方形的浪費反而比較少。
  • B. 曝光設備並不是非圓形就無法曝光。
  • C. 正確。因為晶體的成長方式使晶錠呈圓柱狀。
練習這個領域 前往領域頁面

矽晶圓的其他題目

  1. 在全球矽晶圓市場擁有龐大市占率的日本企業組合,下列哪一項是正確的?
  2. 在CZ法拉晶開始時,緊接晶種之後先收細成長(頸縮,necking),其目的是哪一項?
  3. 對大口徑晶圓進行高溫熱處理時會成為問題的「滑移(slip)」,其原因下列哪一項是正確的?
  4. 直徑300 mm、厚度775 µm的矽晶圓,每片的質量最接近下列哪一項?(矽的密度約為2.33 g/cm³)
  5. 太陽能電池用的多晶矽晶錠,一直以來用來低成本大量製造的方法是哪一種?

這個領域的比較