矽晶圓
矽晶圓之所以是圓形,其主要原因下列哪一項是正確的?
- A因為容易排列方形的晶片
- B因為不是圓形就無法曝光
- C因為單晶是邊旋轉邊拉出的,所以晶錠呈圓柱狀
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正確答案:C. 因為單晶是邊旋轉邊拉出的,所以晶錠呈圓柱狀
在CZ法中,晶種與坩堝以相反方向旋轉,同時從熔液中向上拉晶,使溫度分布在旋轉方向上均勻,所以晶錠呈圓柱狀。將它切成薄片,晶圓就是圓形。排列方形晶片時外周會有數%的浪費,但由於晶體的製造方式,以及旋轉塗佈與CMP等適合圓形的製程,因此採用這種形狀。
- A. 若要排列方形晶片,方形的浪費反而比較少。
- B. 曝光設備並不是非圓形就無法曝光。
- C. 正確。因為晶體的成長方式使晶錠呈圓柱狀。