실리콘 웨이퍼
실리콘 웨이퍼가 원형인 주된 이유로 올바른 것은?
- A사각형 칩을 배열하기 쉽기 때문
- B원형이 아니면 노광을 할 수 없기 때문
- C단결정을 회전시키면서 끌어올리므로 잉곳이 원기둥 모양이 되기 때문
정답과 해설 보기
정답: C. 단결정을 회전시키면서 끌어올리므로 잉곳이 원기둥 모양이 되기 때문
CZ법에서는 종결정과 도가니를 서로 반대 방향으로 회전시키면서 융액에서 끌어올려 온도 분포를 회전 방향으로 균일하게 만들기 때문에 잉곳이 원기둥 모양이 됩니다. 이를 얇게 자르므로 웨이퍼는 원형이 됩니다. 사각형 칩을 배열하면 외주에 수 %의 낭비가 생기지만, 결정을 만드는 방식과 회전시키는 도포나 CMP 등 원형에 적합한 공정 때문에 이 형태가 사용됩니다.
- A. 사각형 칩을 배열하려면 사각형이 낭비가 더 적습니다.
- B. 노광 장치는 원형이 아니면 노광할 수 없는 것이 아닙니다.
- C. 옳습니다. 결정의 성장 방법 때문에 원기둥 모양이 되기 때문입니다.