シリコンウエハが円形をしている主な理由として正しいものはどれか。

正解：C. 単結晶を回転させながら引き上げるため、インゴットが円柱状になるから

CZ法では、種結晶を回転させながら融液から引き上げて結晶を成長させるため、インゴットは円柱状になります。それを薄く切るのでウエハは円形になります。四角いチップを並べると外周に無駄が出ますが、結晶の作り方からこの形になっています。

• A. 四角いチップを並べるなら四角い方が無駄は少なくなります。
• B. 露光装置は円形でなければ露光できないわけではありません。
• C. 正しい。結晶の育成方法によって円柱状になるためです。