矽晶圓

為了讓矽單晶晶錠的直徑保持一定,拉晶過程中主要調整的條件是哪一項?

  1. A拉晶速度與熔液的溫度
  2. B晶錠的顏色
  3. C工廠照明的亮度
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正確答案:A. 拉晶速度與熔液的溫度

在CZ法中,以攝影機監視晶體與熔液交界處形成的明亮環(彎月面),由其直徑求出晶錠直徑,並自動調整拉晶速度與加熱器的輸出(熔液溫度),使直徑保持一定。拉得快則變細,拉得慢則變粗。拉晶速度會經由V/G影響進入晶體的點缺陷種類,所以需要同時考量直徑與缺陷的精密控制。

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