300 mm晶圓一般採用的拋光方式，下列哪一項是正確的？

正確答案：A. 拋光正反兩面，以獲得高度平坦度

300 mm晶圓為了滿足嚴格的平坦度要求，一般採用以上下研磨盤同時拋光正反兩面的雙面拋光，使厚度偏差(GBIR)控制在1 µm以下。之後只對正面進行精拋光，做成鏡面。由於背面也變得平滑，吸附在曝光設備的載台上時變形較小，也能抑制微粒的產生。200 mm以前以單面拋光為主流。