對FZ矽照射中子，把部分矽轉變成磷而得到均勻n型的方法是哪一種？

正確答案：A. 中子照射摻雜(NTD)

當中子照射矽時，約占3%的同位素Si-30會吸收中子變成Si-31，以約2.6小時的半衰期進行β衰變，變成磷(P-31)。由於中子能均勻地到達整個晶體，因此可得到一般有偏析的摻雜無法達到、電阻率變異在數%以下的非常均勻的n型晶圓。因為要使用核反應爐，供應量有限，用於高耐壓的功率元件(閘流體或IGBT)。