실리콘 웨이퍼
사용이 끝난 모니터 웨이퍼 표면의 막 등을 제거하고 다시 연마하여 재사용할 수 있게 한 것을 무엇이라 부르는가?
- ASOI 웨이퍼
- B재생 웨이퍼
- C에피택셜 웨이퍼
정답과 해설 보기
정답: B. 재생 웨이퍼
모니터 웨이퍼나 더미 웨이퍼는 공장에서 대량으로 사용되므로, 사용 후 표면의 막과 오염을 식각이나 연마로 제거하고 다시 경면으로 마감하여 재이용합니다. 이것이 재생 웨이퍼로, 신품보다 저렴하고 자원 절약에도 도움이 됩니다. 한 장을 여러 번 재생할 수 있으며 그때마다 조금씩 얇아집니다. 재생을 전문으로 하는 기업도 있으며, 금속 오염을 확실히 제거하는 것이 품질의 핵심입니다.