矽晶圓

300 mm矽晶圓的標準厚度,最接近下列哪一項?

  1. A約5 mm
  2. B約100 µm
  3. C約775 µm
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正確答案:C. 約775 µm

300 mm晶圓的標準厚度約為775 µm。口徑越大,為了防止因自重造成的彎曲與搬運中的破裂,厚度也越厚(150 mm約675 µm,200 mm約725 µm)。元件所需要的只有表面的數µm,但為了讓晶圓能通過各製程,需要有足夠的厚度來維持強度。完成後,為了封裝薄型化、散熱以及TSV,有時會研削背面薄化至數十µm。

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