실리콘 웨이퍼

300 mm 실리콘 웨이퍼의 표준 두께에 가장 가까운 것은?

  1. A약 5 mm
  2. B약 100 µm
  3. C약 775 µm
정답과 해설 보기

정답: C. 약 775 µm

300 mm 웨이퍼의 표준 두께는 약 775 µm입니다. 직경이 클수록 자중에 의한 휨과 반송 중 깨짐을 방지하기 위해 두꺼워집니다(150 mm는 약 675 µm, 200 mm는 약 725 µm). 디바이스에 필요한 것은 표면의 수 µm뿐이지만, 공정을 통과시키기 위한 강도로서 두께가 필요합니다. 완성 후에는 패키지 박형화, 방열, TSV를 위해 뒷면을 연삭하여 수십 µm까지 얇게 하기도 합니다.

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