矽晶圓
矽晶圓需要高度平坦的主要原因，下列哪一項是正確的？
- A為了使晶圓的重量一致
- B因為曝光時必須使整個圖案落在焦深範圍內
- C為了使晶圓的顏色一致
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正確答案：B. 因為曝光時必須使整個圖案落在焦深範圍內
曝光的圖案越微細，焦深就越淺，先進曝光只有100 nm左右。晶圓表面只要有些微凹凸，焦點就會偏移，圖案便會模糊。因此，每個曝光區域(如26×33 mm的曝光單元)的局部平坦度(SFQR)被管控在數十nm以下。曝光設備也會對每個曝光單元量測高度來對焦，但前提仍是晶圓本身具備平坦度。