製程材料(氣體與藥液)

為了從供應給設備之前的氣體中去除微量雜質與微粒,而設置在管線上的設備為下列何者?

  1. A真空幫浦
  2. B氣體純化器(purifier)或氣體過濾器
  3. C加熱器
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正確答案:B. 氣體純化器(purifier)或氣體過濾器

氣體在鋼瓶或管線中,也可能夾帶水分或氧氣等微量雜質與微粒。因此在設備的正前方,設置以金屬吸氣劑等吸附雜質的氣體純化器,以及捕集細微粒子的過濾器,以維持ppt等級的純度。真空幫浦是用來排出氣體的設備,加熱器是用來提高溫度的設備,兩者都無法去除雜質。

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