製程材料(氣體與藥液)

關於作為MOCVD原料的三甲基鎵(TMGa)等有機金屬化合物,在操作上的注意事項,下列何者正確?

  1. A既無毒性也無反應性,可以安全處理
  2. B會放出強烈輻射
  3. C會與空氣或水劇烈反應,有自燃之虞
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正確答案:C. 會與空氣或水劇烈反應,有自燃之虞

三甲基鎵或三甲基鋁等有機金屬化合物在空氣中會自燃,也會與水劇烈反應。將其放入保持恆溫的起泡器(bubbler)容器中,通入氫氣或氮氣來帶出蒸氣。蒸氣壓取決於溫度,因此以容器的溫度與氣體的流量來控制供應量。它不會放出輻射,也不是可以安全處理的物質。用於GaN或GaAs的MOCVD。

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