製程材料（氣體與藥液）
作為ArF準分子雷射振盪所用的氣體組合，下列何者適當？
- A氧與氮
- B僅氫與氦
- C氬與氟（含氖等緩衝氣體）
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正確答案：C. 氬與氟（含氖等緩衝氣體）
ArF準分子雷射是以放電激發將少量的氬與氟以氖緩衝氣體稀釋後的混合氣體，發出波長193 nm的光。準分子（excimer）是指僅在激發態才會鍵結的分子（excited dimer），回到基態就會分開，因此能有效率地得到紫外光。KrF準分子雷射（248 nm）使用氪與氟。氧與氮、氫與氦都無法發出193 nm的光。