製程材料（氣體與藥液）
將氣體的純度標示為「6N」時，下列何者為正確的純度？
- A99.9999%
- B96%
- C99.6%
查看答案與解析
正確答案：A. 99.9999%
在純度標示中，「N」代表9（nine）的個數，6N就是6個9連續排列的99.9999%。雜質總量為0.0001%，也就是1 ppm以下。96%或99.6%是把6這個數字放在末位或中間的錯誤讀法。像99.9995%這種最後以5結尾的情況，則寫成5N5。半導體用的特殊氣體，常要求6N以上的純度。
製程材料（氣體與藥液）
正確答案：A. 99.9999%
在純度標示中，「N」代表9（nine）的個數，6N就是6個9連續排列的99.9999%。雜質總量為0.0001%，也就是1 ppm以下。96%或99.6%是把6這個數字放在末位或中間的錯誤讀法。像99.9995%這種最後以5結尾的情況，則寫成5N5。半導體用的特殊氣體，常要求6N以上的純度。