半導體物性

下列何者最接近雜質少的矽在室溫下的電子遷移率?

  1. A約14 cm²/(V·s)
  2. B約140,000 cm²/(V·s)
  3. C約1,400 cm²/(V·s)
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正確答案:C. 約1,400 cm²/(V·s)

低摻雜矽在室溫下的遷移率,電子約為1,400 cm²/(V·s),電洞約為450 cm²/(V·s)。不過在MOSFET的通道中,由於表面粗糙及界面電荷造成的散射,會降到約一半以下。GaAs的電子約為8,500,InSb約為77,000 cm²/(V·s),化合物半導體中有速度大幅更快的材料,被用於高頻用途。摻雜量增加時,任何材料的遷移率都會下降。

  • A. 約14 cm²/(V·s)小了2個數量級。
  • B. 約140,000 cm²/(V·s)大了2個數量級。即使是高遷移率的化合物半導體也沒有這麼大。
  • C. 正確。電子約為1,400 cm²/(V·s)。
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